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真空について

真空とは

技術的な意味で「周りより低圧になっている容器内の圧力状態」を意味します。
通常は大気圧(1気圧)に置かれた装置を考えるので、1気圧以下の圧力状態を「真空」と呼びます。
真空の応用分野とそれに対応する圧力範囲は(表1)のようになります。

真空の応用分野とそれに対応する圧力範囲

圧力の単位

圧力の単位換算

到達圧力について

到達圧力について

真空漏れについて

バルブ内の圧力が周囲より高い場合、ボディガスケットやグランドからの漏れ量は外部に漏れてきた空気の体積で測定 できます(図-1)。しかし、真空漏れは空気が容器に入っていくので同じように測定できません。そのため、容器内の圧力 変化(圧力上昇)を測定します。(図-2)

真空漏れについて

しかし、圧力上昇だけで漏れ量を表すと、同じ圧力上昇であっても容器の大きさが変われば漏れて入ってきた気体の量も異なってきます。従って真空漏れ量は、

真空漏れについて

で表すことができます。

k計算例

k計算例

また、製品として使用できるかどうかを評価する基準として許容漏れ量があります。 許容漏れ量とは、決められた圧力差で許容される漏れ量のことをいい、その最大値が最大許容漏れ量となります。

最大許容漏れ量の求め方

真空を保つには以下の2種類の方法があり、それによって最大許容漏れ量の求め方も異なってきます。

真空管のように決められた真空度を維持しているものは基本的に漏れが検出されてはいけませんが、実際はガラスなどの容器から徐々に漏れています。最大許容漏れ量は以下の式から求めることができます。

真空漏れ量が最大許容漏れ量以内であればその製品を使用することに問題はないと言えるでしょう。

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