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製品情報

半導体

エッチング装置・コータ装置・スパッタ装置・ダイシング装置・洗浄装置・テスターなどの冷却用

頻度の高い温度調整に適応できる高性能な熱交換器

半導体製造に必要な各種の精密装置には非常にレベルの高い温度コントロールが必要です。コンパクトで高性能なブレージングプレート式熱交換器は半導体製造装置の純水の循環ラインでの熱交換や、フロリナートの熱交換にも多く使われています。

半導体・電子部品用

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