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半導体

超純水製造装置、クリーンルーム

“産業の米”の急速な進化に対応

日夜進歩を続けるIT産業。ナノレベルでの加工を必要とする最新鋭半導体製造プロセスではほんのわずかなチリやホコリも製品にとっては致命的。クリーンルームの空気調和で、超純水製造設備で、TOC分解設備で日阪プレート式熱交換器は使用されています。また、大型プレート式熱交換器を利用した冬場の冷凍機使用負荷を軽減するフリークーリングシステムは、半導体工場の省エネルギーの定番としてすっかり定着しました。

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